1、合适的粘度和良好的粘温特性：水环式真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
2、极低的蒸气压：这是真空润滑油的一大特性，由于真空泵对真空度要求很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
3、良好的抗腐蚀性和抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件，吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起润滑油的乳化并使金属腐蚀，所以要求润滑油具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。
4、良好的热氧化安定性：由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容谌冥鹳籀易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求润滑油具有良好的热氧化安定性。
5、较低的极限压力：极限压力是润滑油重要的使用性能指标。